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碳化硅设备工艺

  • 碳化硅设备行业深度报告:多技术并行,衬底切片设备加速

    2023年4月26日  近 10 年逐渐兴起,具备大带隙、大载流子漂移速率、大热导率和大击穿电场 四大特性,全面突破材料在高频、高压、高温等复杂条件下的应用极限, 适配 5G 通信、新能源汽车、智能物联网等新兴产业,对节能减排、产 业转型升级、催生新的经济增长点将

  • 一文了解碳化硅(SiC)器件制造工艺 ROHM技术社区

    2022年12月1日  碳化硅因其出色的物理性能,如高禁带宽度、高电导率和高热导率,有望成为未来制作半导体芯片的主要材料之一。 为了确保SiC器件的优质应用,本文将详细介绍SiC器件制造中的离子注入工艺和激活退火工艺。

  • 顺应降本增效趋势,半导体碳化硅 (SiC) 衬底4种切割技术详解

    3 天之前  KABRA工艺本质是上将激光聚焦在碳化硅材料的内部,通过“无定形黑色重复吸收”,将碳化硅分解成无定形硅和无定形碳,并形成作为晶圆分离基点的一层,即黑色无定形层,吸收更多的光,从而能够很容易地分离晶圆。

  • 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布,有哪些工艺设备?有多难做?

    2020年10月21日  碳化硅材料整线关键工艺设备共22种,下面就介绍一下我国碳化硅的发展现状,和碳化硅晶体生长及加工的关键设备。 碳化硅半导体产业发展现状

  • 化学气相沉积法碳化硅外延设备技术进展 电子工程专辑 EE

    2023年2月15日  摘要 碳化硅(SiC)是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料,近20 年来随着外延设备和工艺技术水平不断 提升,外延膜生长速率和品质逐步提高,碳化硅在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求 越来越大。 与硅半导体产业不同

  • 碳化硅(SiC)行业深度:市场空间、未来展望、产业链及相关

    2023年9月27日  SiC晶圆制造特定工艺带来特定设备的需求,主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。

  • 一文为您揭秘碳化硅芯片的设计和制造 电子工程专辑 EE

    2024年5月31日  我们可以把MOSFET(硅和碳化硅)根据它们的栅极结构分成两类:平面结构和沟槽结构,它们的示意图如图三所示。 如果从结构上来说,硅和碳化硅MOSFET是一样的,但是从制造工艺和设计上来说,由于碳化硅材料和硅材料的特性导致它们要考虑的点大部

  • 化学气相沉积法碳化硅外延设备技术进展

    2022年8月11日  本文从碳化硅外延生长机理出发,结合反应室设计和材料科学的发展, 介绍了化学气相沉积(CVD) 法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技术进展, 最后分析了CVD 法碳化硅外延设备未来的研究重点和发展方向。

  • 浮思特|碳化硅SiC生产工艺的全景解析 百家号

    2024年4月18日  碳化硅(SiC)因卓越性能成为电力电子器件的理想材料。 其生产工艺涉及原料准备、热处理、晶体生长、切片打磨、器件制造、检测与封装等步骤。 SiC的应用前景广阔,为电力电子技术发展开辟新道路。

  • 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国

    2023年2月26日  需求,纳米银烧结设备成为碳化硅封装固化工艺的最核心设备,截至 022 年未实现国产化。根据我们测算,预计2025年国内纳米银烧结设备市场规模为30 亿元。 受益标的:(1)宇环数控:国内稀

  • 碳化硅设备行业深度报告:多技术并行,衬底切片设备加速

    2023年4月26日  近 10 年逐渐兴起,具备大带隙、大载流子漂移速率、大热导率和大击穿电场 四大特性,全面突破材料在高频、高压、高温等复杂条件下的应用极限, 适配 5G 通信、新能源汽车、智能物联网等新兴产业,对节能减排、产 业转型升级、催生新的经济增长点将

  • 一文了解碳化硅(SiC)器件制造工艺 ROHM技术社区

    2022年12月1日  碳化硅因其出色的物理性能,如高禁带宽度、高电导率和高热导率,有望成为未来制作半导体芯片的主要材料之一。 为了确保SiC器件的优质应用,本文将详细介绍SiC器件制造中的离子注入工艺和激活退火工艺。

  • 顺应降本增效趋势,半导体碳化硅 (SiC) 衬底4种切割技术详解

    3 天之前  KABRA工艺本质是上将激光聚焦在碳化硅材料的内部,通过“无定形黑色重复吸收”,将碳化硅分解成无定形硅和无定形碳,并形成作为晶圆分离基点的一层,即黑色无定形层,吸收更多的光,从而能够很容易地分离晶圆。

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    2023年2月15日  摘要 碳化硅(SiC)是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料,近20 年来随着外延设备和工艺技术水平不断 提升,外延膜生长速率和品质逐步提高,碳化硅在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求 越来越大。 与硅半导体产业不同

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    2023年9月27日  SiC晶圆制造特定工艺带来特定设备的需求,主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。

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    2024年5月31日  我们可以把MOSFET(硅和碳化硅)根据它们的栅极结构分成两类:平面结构和沟槽结构,它们的示意图如图三所示。 如果从结构上来说,硅和碳化硅MOSFET是一样的,但是从制造工艺和设计上来说,由于碳化硅材料和硅材料的特性导致它们要考虑的点大部

  • 化学气相沉积法碳化硅外延设备技术进展

    2022年8月11日  本文从碳化硅外延生长机理出发,结合反应室设计和材料科学的发展, 介绍了化学气相沉积(CVD) 法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技术进展, 最后分析了CVD 法碳化硅外延设备未来的研究重点和发展方向。

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    2024年4月18日  碳化硅(SiC)因卓越性能成为电力电子器件的理想材料。 其生产工艺涉及原料准备、热处理、晶体生长、切片打磨、器件制造、检测与封装等步骤。 SiC的应用前景广阔,为电力电子技术发展开辟新道路。

  • 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国

    2023年2月26日  需求,纳米银烧结设备成为碳化硅封装固化工艺的最核心设备,截至 022 年未实现国产化。根据我们测算,预计2025年国内纳米银烧结设备市场规模为30 亿元。 受益标的:(1)宇环数控:国内稀

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    2023年4月26日  近 10 年逐渐兴起,具备大带隙、大载流子漂移速率、大热导率和大击穿电场 四大特性,全面突破材料在高频、高压、高温等复杂条件下的应用极限, 适配 5G 通信、新能源汽车、智能物联网等新兴产业,对节能减排、产 业转型升级、催生新的经济增长点将

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    2022年12月1日  碳化硅因其出色的物理性能,如高禁带宽度、高电导率和高热导率,有望成为未来制作半导体芯片的主要材料之一。 为了确保SiC器件的优质应用,本文将详细介绍SiC器件制造中的离子注入工艺和激活退火工艺。

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    2024年5月31日  我们可以把MOSFET(硅和碳化硅)根据它们的栅极结构分成两类:平面结构和沟槽结构,它们的示意图如图三所示。 如果从结构上来说,硅和碳化硅MOSFET是一样的,但是从制造工艺和设计上来说,由于碳化硅材料和硅材料的特性导致它们要考虑的点大部

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    2023年4月26日  近 10 年逐渐兴起,具备大带隙、大载流子漂移速率、大热导率和大击穿电场 四大特性,全面突破材料在高频、高压、高温等复杂条件下的应用极限, 适配 5G 通信、新能源汽车、智能物联网等新兴产业,对节能减排、产 业转型升级、催生新的经济增长点将

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    2022年12月1日  碳化硅因其出色的物理性能,如高禁带宽度、高电导率和高热导率,有望成为未来制作半导体芯片的主要材料之一。 为了确保SiC器件的优质应用,本文将详细介绍SiC器件制造中的离子注入工艺和激活退火工艺。

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    3 天之前  KABRA工艺本质是上将激光聚焦在碳化硅材料的内部,通过“无定形黑色重复吸收”,将碳化硅分解成无定形硅和无定形碳,并形成作为晶圆分离基点的一层,即黑色无定形层,吸收更多的光,从而能够很容易地分离晶圆。

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    2020年10月21日  碳化硅材料整线关键工艺设备共22种,下面就介绍一下我国碳化硅的发展现状,和碳化硅晶体生长及加工的关键设备。 碳化硅半导体产业发展现状

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    2023年2月15日  摘要 碳化硅(SiC)是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料,近20 年来随着外延设备和工艺技术水平不断 提升,外延膜生长速率和品质逐步提高,碳化硅在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求 越来越大。 与硅半导体产业不同

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    2023年9月27日  SiC晶圆制造特定工艺带来特定设备的需求,主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。

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    2024年5月31日  我们可以把MOSFET(硅和碳化硅)根据它们的栅极结构分成两类:平面结构和沟槽结构,它们的示意图如图三所示。 如果从结构上来说,硅和碳化硅MOSFET是一样的,但是从制造工艺和设计上来说,由于碳化硅材料和硅材料的特性导致它们要考虑的点大部

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    2022年8月11日  本文从碳化硅外延生长机理出发,结合反应室设计和材料科学的发展, 介绍了化学气相沉积(CVD) 法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技术进展, 最后分析了CVD 法碳化硅外延设备未来的研究重点和发展方向。

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    2024年4月18日  碳化硅(SiC)因卓越性能成为电力电子器件的理想材料。 其生产工艺涉及原料准备、热处理、晶体生长、切片打磨、器件制造、检测与封装等步骤。 SiC的应用前景广阔,为电力电子技术发展开辟新道路。

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